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作者：电子创新网张国斌

编者注：目前中国本土只有ABM Inc.与SMEE为自主研发、设计、且拥有包括核心零部件和重要子系统自主知识产权的光刻机整机集成制造商。这是ABM Inc.和SMEE与其他通过旧型二手设备翻新的光刻机设备商截然不同之处！从这个角度出发，ABM Inc.与 SMEE 是中国唯二的光刻机设备制造商。ABM光刻机主要应用于制造MEMS、功率器件、化合物半导体等行业需要的芯片，这些芯片主要应用于航空航天、移动通讯、新能源汽车、消费电子、AI人工智能等。

ABM Inc.公司介绍

ABM Inc.是一家在光刻机领域具有显著影响力的公司，专注于半导体前道制造和先进封装的光刻机研发与生产。ABM Inc.成立于2003年，总部位于中国香港，拥有超过20年的半导体光刻设备行业经验。

业务领域：ABM Inc.主要提供半导体前道制造的光刻机和先进封装的光刻机及键合设备，是全球少数几家具备自主研发、设计并拥有核心零部件和重要子系统自主知识产权的光刻机整机集成制造商之一。

自主技术：ABM Inc.整机设备为自研自制，拥有超过2000项自主开发的光刻机重要零部件专有技术。在光刻机关键子系统如全波段近、中、深紫外光源系统和折反射镜组、精密工件台等方面，ABM Inc.均实现了自研自制，并拥有独立的知识产权。

产品线：ABM Inc.的光刻机产品广泛应用于集成电路的前道制造和先进封装领域，包括MEMS、功率器件、化合物半导体等行业所需的芯片制造。这些芯片在航空航天、移动通讯、新能源汽车、消费电子、AI人工智能等领域有着广泛的应用。

全球市场：ABM Inc.的光刻机在全球已交付超过300个客户，累计交付950台（套），其中国际客户包括逻辑、存储、通信等一线晶圆制造的头部企业。

中国市场：在中国，ABM Inc.也拥有众多不同领域的客户，包括工厂、大学和研究所等。其光刻机产品在中国本土市场上占据了重要的份额，是中国半导体产业中不可或缺的一部分。

产品特点与优势

ABM Inc.的光刻机产品种类丰富，包括有掩膜和无掩膜光刻机。有掩膜光刻机是半导体制造的主流光刻机，其技术发展路径从接触式、接近式、投影式、步进式和扫描式光刻机。无掩膜光刻机主要为激光直写光刻机，主要应用于FPD、PCB、PV等泛半导体领域。

高精度：ABM Inc.的光刻机具备高精度对准和曝光能力，能够满足不同工艺需求下的高精度制造要求。

高可靠性：公司注重产品的可靠性和稳定性，通过严格的质量控制和测试流程确保每一台光刻机都能达到最优的性能表现。

定制化服务：ABM Inc.还提供定制化的服务，根据客户的具体需求提供个性化的解决方案和技术支持。

ABM光刻机特别适用于制造MEMS（微机电系统）、功率器件、化合物半导体等行业所需的芯片。这些芯片在航空航天、移动通讯、新能源汽车、消费电子、AI人工智能等领域具有广泛应用。

随着半导体技术的不断发展，先进封装技术变得越来越重要。ABM Inc.的光刻机在先进封装领域也发挥着关键作用，为各种封装工艺提供高精度、高效率的解决方案。例如，ABM的光刻机可满足主流Bumping、RDL（重布线层）和TSV（硅通孔）等光刻工艺的需求，并提供广泛的光刻工艺窗口及黄光区配套联机设备。

具体应用领域

航空航天：在航空航天领域，高性能的芯片对于飞行器的控制系统、通信系统以及传感器等至关重要。ABM Inc.的光刻机制造的芯片能够满足这些领域对于高精度、高可靠性的要求。

移动通讯：随着5G、6G等移动通信技术的不断发展，对于高性能芯片的需求也在不断增加。ABM Inc.的光刻机在制造这些芯片方面发挥着重要作用。

新能源汽车：新能源汽车的电机控制系统、电池管理系统等都需要高性能的芯片来支持。ABM Inc.的光刻机为这些领域提供了高质量的芯片制造解决方案。

消费电子：智能手机、平板电脑、智能家居等消费电子产品的核心部件都是芯片。ABM Inc.的光刻机在制造这些芯片方面也具有重要地位。

AI人工智能：AI人工智能的发展离不开高性能的芯片支持。ABM Inc.的光刻机在制造AI芯片方面也具有重要应用。

在最近召开的2024 NAN SHAN大会上，ABM Inc. 副总经理赵宏关于光刻机设备研发以及市场特点做了演讲，以下是其演讲全文：

赵宏的演讲全文

ABM Inc. 副总经理赵宏

各家的先进封装工艺皆有不同标准, 如台积电CoWoS-R、CoWoS-S、CoWoS-L光刻工艺不同 (胶厚、曝光景深、L/S线距比), 考验光刻机的适配性与综合性能, 包含曝光面积、图形拼接、对位标记、分辨率、产能、工艺窗口等综合性价比, 这些指标决定先进封装的终端成本及竞争优势。台积电在10年前推出（28nm）先进封装的报价为7美分/平方毫米, 现今已低于3美分/平方毫米；（3nm）先进封装的报价目前为28美分/平方毫米。成本控制对于先进封装的发展极为重要, 考验光刻机供应商的客制化选项与集成能力。

ABM的光刻机可满足主流Bumping、RDL和TSV等光刻工艺主流需求, 并提供广泛的光刻工艺窗口及黄光区配套联机设备, 并可提供8英寸到12英寸的设备选型或兼容。

地缘政治的原因使中国先进制程的发展受限，通过先进封装和现有成熟制程搭配以实现中国高端芯片的全自主，已成为中国半导体产业的重点发展方向。以台积电CoWoS技术指标剖析, 中国设备商已在薄膜沉积设备(填孔绝缘及金属层沉积)、刻蚀设备 (TSV硅通孔)、机械研磨、氧化退火等领域均可满足技术指标, 但欠缺本土的光刻机企业作为核心链主, 串起中国先进封装工艺成套设备的配置与布局，ABM正是中国极少数具备先进封装成套设备一站式解决方案的供应商。

ABM如同1990年代的ASML，正处于爆发前夕。在过去的20年里，其光刻机几乎遍布全球主要半导体产业集中地，成功树立了ABM光刻机的国际品牌。未来，ABM将持续打造为光刻设备的国际化产业平台。作为中国光刻机行业的领导者，ABM将继续在中国高端光刻机国产化的道路上做一位孤独的登山者。

（以上内容引自芯谋研究）

ABM,Inc.全自动双面对准光刻机

ABM全自动光刻机主要规格：

 全自动化量产

 衬底尺寸2英寸，4英寸，6英寸，8英寸原型或方形片。

 单面对准的全自动光刻工艺

 双面对准的全自动光刻工艺

 双工位片盒进出设计

 线性机械传送臂系统可同时承载3枚晶片的运作

 产能：120-150WPH

 高性能机械臂应对翘曲，形变晶片的吸附传送能力

 精确的图像识别系统，可自动识别多种对准标记

ABM全自动光刻机主要性能指标：

正面对准精度±1um

对准光学系统：电控双目镜双视场CCD系统

两组目镜有效视场分离可调节间距10mm-150mm

紫外波长：UV400

光强均匀性Beam Uniformity:：

     --<±1% over 2” 区域

     --<±2% over 4” 区域

     --<±2.5% over 6” 区域

真空接触、接近式曝光

支持最大300um间距接近式曝光

自动水平面校正系统

控制系统PLC/PC

支持恒定光强或恒定功率模式

SLM8837 是一款专为低压供电的电机驱动应用而设计的先进芯片，其内部集成了多种保护电路，以确保系统稳定性和安全性。该芯片拥有双通道 NMOS 半桥输出，分别由两路独立的 PWM 输入控制，提供灵活而精准的控制方式。两个单独的供电电源，适用于 0~11V 的电机电源供电系统和 1.8V~5.5V 的逻辑供电系统。SLM8837 以其出色的性能和灵活的应用方式，广泛应用于低压供电的电机驱动消费品等领域，如智能家居设备、小型电动工具等。

图 1. SLM8837应用框图

产品的特点与优势 

一、高效能驱动设计

1. SLM8837 电机驱动芯片具备两个独立的半桥输出，也可灵活配置为一个H桥输出，满足多样化的驱动需求。

2. 峰值电流高达 1.8A，HS+LS 通道的总导通电阻仅为 280mΩ，有效减少能量损耗，提升系统效率，满足小功率电机对高效率的严苛要求。

二、内置电荷泵电路

内置电荷泵电路，确保功率管栅极在工作时能够正常开通和关闭，进一步提升了驱动效率和稳定性。

三、强大的并联输出能力

在需要更大驱动电流的场合，SLM8837 的输出可以并联使用，轻松应对更大功率输出的半桥负载，扩展性强。

四、节能设计

通过 nSleep 管脚控制，SLM8837 可进入睡眠模式，关闭输出功能，实现仅消耗 120nA 电源电流，最大程度降低了功率损耗。

五、紧凑封装与广泛适应性

1. 采用 DFN8 封装，尺寸仅 2mm×2mm，小巧轻便，有效节省空间，适合各种小体积设计。

2. 支持宽泛的输入电压范围（0V 至 11V 电源供电，1.8V 至 5.5V 逻辑供电），以及 -40°C 至 85°C 的工作温度范围，适应多种低压供电场景和极端环境条件。

六、完善的保护机制

内置 UVLO、过流保护和过温保护等多种安全功能，确保系统安全稳定运行。一旦发生异常情况，相应的保护机制会立即启动，防止系统损坏或不稳定状况发生。

当限流电路一旦检测到过流信号时，会移除栅极驱动器来限制通过 MOS 管的电流，使得芯片安全性得到极大保障，提高系统稳定性与安全性。当温度超过安全限制值，过温保护启动，所有输出级关闭，等到温度下降到安全值，输出级自动恢复。如果两个输入同时为高电平时，输出 MOS 管会关闭，这意味着面对干扰等原因造成输入被错误拉高时，仍可通过芯片内部关闭输出 MOS 管，确保系统可靠性。如图2 所示，SLM8837 在OUT1 输出对地发生短路时，能迅速启动保护机制，并在故障排除后自动恢复输出。

图 2. 输出对地短路保护波形

产品特性 

☑  输入电压范围：

      -  电源供电电压范围：0V 至 11V

      -  逻辑供电电压范围：1.8V 至 5.5V

☑  效率高、低电阻：HS+LS 280mΩ

☑  工作电流：电流峰值达 1.8A

☑  低功耗、总关机电流：120nA

☑  UVLO：1.7V

☑  具备过温保护：150℃

☑  尺寸小：2.0×2.0mm DFN8 封装

☑  工作结温范围：-40°C ~ 150°C

来源：数明半导体

近日，半导体器件领域企业SemiQ宣布，其QSiC™产品系列中新增了1700V SiC(碳化硅)肖特基分立二极管和双二极管模块。这一创新举措旨在满足包括开关电源(SMPS)、不间断电源(UPS)、电动汽车(EV)充电站在内的多种高要求应用场景在尺寸和功率上的严格标准。

这款新推出的SiC肖特基二极管技术亮点在于其无反向恢复电流的特性，这意味着开关过程中的损耗极低。此外，该二极管在热管理方面的改进也令人瞩目，有助于降低系统冷却需求，使工程师能够设计出更高效、性能更优的电源系统。通过减少系统产生的热量，这些器件允许使用更小的散热器，从而节省了成本和空间。

具体而言，SemiQ推出的GP3D050B170X(裸片)和GP3D050B170B(TO-247-2L封装)分立二极管，在最大正向电流方面分别达到了110A和151A。其设计支持简单的并联配置，为电源应用提供了更高的灵活性和可扩展性。

同时，GHXS050B170S-D3和GHXS100B170S-D3双二极管模块，采用SOT-227封装，每个组件的最大正向电流分别为110A和214A，能够满足更高功率输出的需求。

这些SiC二极管在高频下的性能尤为出色，低损耗和低电磁干扰(EMI)的操作特性使它们成为提高能源效率和可靠性的理想选择。其内部隔离封装(AIN)提供了出色的绝缘和导热性，结和外壳之间的低热阻确保了即使在高功率水平下也能保持稳定性。此外，正向电压(Vf)的正温度系数(Tc)特性有助于模块的并联使用，进一步增强了系统的灵活性和可靠性。

SemiQ表示，这些新开发的1,700V SiC二极管在功率效率和可靠性方面取得了重大进步。QSiC™二极管的设计紧凑且灵活，运行损耗低，热管理出色，为客户开发先进且高性能的解决方案提供了有力支持。所有组件均经过严格的电压测试和雪崩测试，确保了其卓越的性能和可靠性。

随着电动汽车和可再生能源技术的快速发展，对高效、可靠的电力电子器件的需求不断增长。SemiQ此次推出的1,700V SiC肖特基二极管，无疑将为电源和电动汽车充电站等领域带来更加出色的性能和效率提升。

来源：浮思特无微不智

专注于引入新品的全球电子元器件和工业自动化产品授权代理商贸泽电子 (Mouser Electronics) 是知名电源制造商MEAN WELL的全球授权代理商。贸泽供应MEAN WELL齐全的电源解决方案产品系列，库存超过4,500种元器件，提供超过35,000个料号供客户选购。

MEAN WELL LOP-200和LOP-300 PCB型电源是薄型产品，具有12V至54V的宽电压范围，功率分别高达200W和300W。LOP-400、LOP-500和LOP-600也提供同样的电压范围，功率分别为600W、750W和900W。这些电源符合OVCIII要求，同时还符合各种安全标准，例如62368-1/60601-1/61558-1/60335-1，非常适合工厂自动化、医疗设备、电信设备、家用设备等广泛应用。

NGE系列是通过全球多地认证的插墙式可换AC插头适配器。这些环保型适配器采用固定式美标插头、固定式欧标插头或可换式插头。NGE系列适配器的额定功率为12W、18W、30W、45W、65W和90W，并且提供五种可换式AC插头（欧标、美标、英标、澳标和中国国标），非常适合旅行使用。这些适配器具备多种保护功能，包括短路、过载和过压保护，并且均已获得ITE、医疗、家用和工业设备安全法规的批准。

DDRH-120和DDRH-240 DIN导轨式DC/DC转换器具有出色的EMC性能，适合5000m高海拔工作，且符合IEC/EN 62109-1 PV安全标准。这两款转换器均具备完善的保护功能，包括DC输入欠压和反极性（无损坏），以及输出短路、过载、过压和过热保护。这些DC-DC转换器适用于光伏发电、储能、充电桩、工业控制系统，以及其他有高低压DC转换要求的应用。

MEAN WELL XLN和XLC系列LED电源设计用于常规室内照明和商用灯具，采用坚固的塑料外壳。这些LED电源的额定功率为25W、40W和60W。XLN LED电源采用独立接线输出和全密封设计，具有IP67防水等级。其输出和调光电路互相隔离，符合双重隔离和安全电压 (SELV) 设计，可确保用户安全。这些电源均具有完善的国际认证和全范围电压输入 (UIL8750 Class 2/Class P)。

贸泽电子自2007年以来一直是MEAN WELL电源解决方案的授权代理商。贸泽曾荣获MEAN WELL颁发的2023年美国年度代理商奖，以及MEAN WELL SDG集团颁发的2022年可持续发展奖。如需进一步了解贸泽供应的MEAN WELL产品，请访问https://www.mouser.cn/manufacturer/meanwell/。

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MEAN WELL公司成立于1982年，是一家主营标准电源的专业制造商。与许多厂商以ODM/OEM为主要商业模式不同，MEAN WELL近99%的营收来自于自有品牌的标准电源产品。MEAN WELL美国公司是业界知名标准电源制造商MEAN WELL集团的子公司。MEAN WELL美国公司成立于1999年，位于加州湾区的弗里蒙特 (Fremont)。MEAN WELL拥有经过专业培训的团队，为北美地区客户和合作伙伴的供电需求提供快速响应的本地化支持。