阿斯麦

阿斯麦的新一代EUV光刻机：造价1.5亿美元 公共汽车大小
9月2日消息，荷兰阿斯麦的新一代极紫外（EUV）光刻机每台有公共汽车大小，造价1.5亿美元。其前所未有的精度可以让芯片上的元件尺寸在未来几年继续缩小。