LPCVD

中微公司扩充业务产品线，推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW
近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。