Gigaphoton将在SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023大会发布技术解决方案
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Gigaphoton 通过新建生产大楼提高准分子激光光源的产能
产能提高2.5倍，以应对大幅增长的市场需求
Gigaphoton开始批量生产出厂支持微细化最前线的ArFi光源GT66A
Gigaphoton股份有限公司（总部: 栃木县小山市、董事长兼总经理: 浦中克己）宣布，已开始批量生产出厂采用新技术的最新半导体制造光刻光源ArF浸没式激光器“GT66A”。