
作者:电子创新网张国斌
最新消息!6月22号,日本四大光刻胶巨头——东京应化、JSR、信越化学、富士电子材料,集体对中国发了份"断供通牒"。ArF光刻胶、EUV光刻胶,新订单一律不接。KrF光刻胶,新增订单大幅压缩。
更狠的是,所有驻场工程师全部撤走,售后、调试、配方适配,统统中断。手里还有老合同的?交货周期从1-2个月,拉长到6-8个月。
准确的表达就是:
日本直接断供中国光刻胶了!
这不是一个突然的禁令,而是自2025年底以来日本出口管制层层加码的结果,并在2026年6月22日左右,随着多家日本巨头同步收紧供货政策而彻底公开化。
具体情况可以从以下几个方面来理解:
1、从供应收紧到实质冻结
“官宣”而非“突变”:2026年6月22日,东京应化(TOK)、JSR、信越化学、富士电子材料这四家占据全球高端光刻胶市场超过90%份额的日本巨头,几乎同步采取了行动。它们并不是突然开始断供,而是将之前已经发生的限制措施(源于2025年11月起的日本出口管制)公开化并进一步加码。
断供是“有层次的”:根据多方信息,断供是有明确针对性的:
ArF光刻胶(用于14-28nm芯片)和EUV光刻胶(用于7nm及以下芯片):全面停止接收中国新订单,形成事实断供。
KrF光刻胶(用于28nm以上成熟制程):新增订单被大幅压缩,供货量严重减少。
更致命的一步:所有派驻中国晶圆厂的日本工程师被全部撤走,相关的售后、调试、配方适配服务全部中断。这对依赖日系光刻胶调试的生产线稳定运行是很大的打击。
目前,日本企业占据全球70%以上的光刻胶市场份额,中国光刻胶整体进口依赖度高达80%-90%,其中50%-55%来自日本。尤其是EUV光刻胶完全依赖进口,ArF光刻胶进口依赖度超90%,KrF光刻胶依赖度也达95%以上。断供不仅影响新产能爬坡,还可能因缺乏维护导致现有设备停摆,延缓国内存储器等扩产计划。
中国海关数据显示,2026年第一季度从日本进口的光刻胶总量从上年同期的约2200吨暴跌至约111.3吨,跌幅达95%。其中,高端ArF/EUV光刻胶的进口量在2026年前5个月甚至连续数月为零。
2、日本为何“不宣而断”?
日本官方并未发布正式的“断供禁令”,而是通过2025年11月起实施的“逐案审批”出口管制,将审批周期拉长至90天,并实质上拒绝批准,从而在政治上维持“未禁运”的表述,但实际上实现了供应链冻结。这种方式让解禁变得没有明确的时间表,影响更为深远。
3、中国的应对与现状
这并非一场毫无准备的“突袭”。自2019年日韩贸易摩擦以来,中国半导体产业已在光刻胶国产化上进行了多年布局,当前处于“短期阵痛、长期加速”的阶段。
国产替代已有突破:中国采取了"先中低端、后高端"的阶梯式替代路径:
G/I线(成熟制程):国产化率已超95%,基本实现自给
KrF(28nm及以上):国产化进程迅猛,彤程新材旗下北京科华市占率超40%,在长江存储产线良率达98.7%,2026年国内自给率有望接近五成。
ArF(7-28nm):实现从0到1突破,南大光电是国内唯一实现28nm ArF胶规模量产的企业,良率达99.7%,已通过中芯国际、华为海思验证;彤程新材、上海新阳、鼎龙股份等也陆续拿到订单或完成验证
EUV(7nm以下):仍存差距,预计需数年追赶,但2025年10月中国已推出首个EUV光阻测试标准,开始搭建技术框架
全产业链自主化在加速!
光刻胶真正的护城河在于上游原材料。光刻胶核心原材料(专用树脂、单体、光引发剂)长期被日美欧垄断。中国企业正从"成品替代"向"全链自主"迈进:
彤程新材自研电子级酚醛树脂,KrF胶毛利率超45%,成本优于日本同行;
久日新材攻克EUV光刻胶核心原料光致产酸剂技术,打破日本20年垄断;
博康化学实现单体、树脂、光酸全链自主,构建"树脂-光刻胶-应用"全链条技术能力。
政策与市场在推动:国家集成电路产业投资基金二期优先支持光刻胶,三期计划投入超500亿元支持关键材料研发,同时下游晶圆厂(如长江存储、华虹半导体)也开始更积极地配合国产光刻胶进行产线验证,为替代打开了市场窗口。
国家对集成电路用光刻胶企业给予"三免三减半"等所得税优惠,最高可免税10年,监管层推动国内晶圆厂优先采购合格本土产品,缩短验证周期。
现实挑战依然严峻:目前,高端光刻胶的技术壁垒极高,国产产品在良率和稳定性上与日企(良率普遍在95%以上)仍有差距,EUV光刻胶领域几乎还是空白。而且EUV光刻胶仍被JSR、信越化学等日本企业垄断,且JSR参与制定行业标准,形成规则层面的壁垒,新进入者难以突破。
此外,客户验证壁垒极高,光刻胶需与特定设备、工艺匹配,验证周期长、失败成本高,还有,上游原材料虽取得突破,但高端树脂、光敏剂的稳定供应仍是瓶颈。
总体而言,光刻胶的难点不在化学本身,而在三个难度:
1、配方 + 工艺强绑定:不同光刻胶 → 不同曝光参数;不同显影曲线 → 直接影响线宽,所以更换材料 ≈ 重做工艺
2、与设备协同优化
与光刻机参数耦合;与掩膜版(Mask)协同,本质是“三体系统”:光刻机 + 光刻胶 + 工艺参数
3、隐性技术壁垒
包括PAG(光酸发生剂)、高纯度树脂、分子量控制、缺陷控制(ppm级)等,所以这不是“追赶”,是“体系重建”。
综上所述,日本断供中国管教短期内确实造成了"断粮断药"的危机,但中长期看,它加速了中国光刻胶产业从"备胎"到"主力"的转正过程。在成熟制程和先进制程的中坚力量(ArF/KrF)上,中国已通过"压力测试"证明了"不仅有,而且能用"。最顶尖的EUV领域仍是最后一块硬骨头,但产业生态、政策意志和市场机制已形成合力,国产化进程不可逆转,把光刻胶这一块短板补上中国半导体产业链就更强强壮!
加油!中国光刻胶!
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