10月12日,2026集成电路产业发展高峰论坛在上海隆重举行,论坛同期揭晓了备受瞩目的工博会·国芯展“创新成果奖”。概伦电子自主研发的FS800器件参数分析仪,凭借突破性的底层技术创新与卓越的产业赋能价值,从众多顶尖参评项目中脱颖而出,成功斩获CIIF国芯展“创新成果奖”。

随着新材料、新工艺、新结构的不断发展,新型半导体器件的研发正面临着物理尺度更小、功率密度更高、失效机制更复杂等严峻挑战。精准获取电学特性与动态响应数据,已成为验证物理机制、优化工艺配方、评估可靠性的重要基础。这不仅要求量测设备具备极致的精度与可靠性,更对其测试吞吐率、全场景覆盖及复杂工况适配性提出了严苛挑战。高端电性参数量测设备作为探究半导体底层物理特性的核心工具,其性能突破与效率跃升正成为支撑先进工艺演进与新型器件创新的关键技术基石。
作为国内首家EDA上市公司,关键核心技术具备国际市场竞争力的EDA领军企业,概伦电子长期秉承DTCO工艺设计协同优化方法学体系,立足产业真实应用需求牵引技术迭代,打造“测试-建模-仿真-验证-工艺设计套件”全链路产品能力,为先进工艺研发与芯片设计提供差异化、定制化的全流程解决方案。

数据是EDA技术迭代演进的核心支撑,是AI时代半导体创新的重要基础,有力赋能数据驱动的EDA流程落地。作为获取高质量底层数据的核心利器,FS800器件参数分析仪是概伦电子面向前沿研究与先进工艺表征打造的新一代半导体电学特性分析设备,高性能、高效率且灵活可扩展。该产品在单机内集成了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、快速波形发生与测试以及高速时域信号采集等能力,可为各类测试应用需求提供精准、全面的数据支撑。
灵活架构
适配多元应用高效测试需求
FS800采用概伦电子自主研发的模块化混合架构与高速数据总线设计,可按需弹性配置高精度SMU、低漏电矩阵与高速波形发生器模块,单机最多支持24个SMU或扩展至132通道低漏电矩阵等,在单台台式设备中即可实现单器件精细测试到WAT晶圆级自动化电性参数表征,大幅提升测试效率并加速应用验证进程。
精准测量
兼顾稳态与瞬态表征
搭载自研高精度SMU模块FS810,FS800具备宽量程与最高0.1fA的电流分辨率,测量精度达15fA,能在复杂工况下精准表征新型器件的微弱信号。同时,其瞬态采样率高达1.5 MS/s,最小脉宽达130ns,任意波形发生采样率达100 MS/s,各项指标国际领先水平,不仅能从容应对先进工艺的严苛参数提取,更能实时捕新型存储器等前沿器件的高速电导演化,提供高置信度的数据支撑。
智能化数据管理与分析
提升测试效率与易用性
FS800搭载的LabExpress测试软件提供直观的图形化界面与丰富的测试算法库,用户不仅无需编程即可高效完成各类测试任务,还可通过内置脚本编程平台灵活定制复杂测试应用与批量任务,满足个性化实验需求;同时,LabExpress在业内率先支持AI驱动的晶圆级数据统计分析功能,可基于数据统计分析结果智能化部署自动测试、数据校验和复测,大幅提升研发过程中的数据管理效率和分析深度与广度,加速从材料探索、器件验证、工艺开发、芯片设计的完整研发闭环。
此次荣膺国芯展“创新成果奖”,不仅是业界对FS800产品实力的高度认可,更彰显了高端量测技术在半导体产业创新中的基石价值。面向未来,概伦电子将持续深耕核心数据获取技术和高端量测设备,深化测试、建模、仿真的协同创新,以更精准、更高效、更智能的测试底座,与生态伙伴一起拓宽技术新边界,激发半导体应用新潜力,共同推动半导体产业迈向新的发展阶段。