新材料和新工艺呼唤新测试技术和仪器

传统直流测试方法无法提供器件性能和可靠性的准确模型。现在需要真正的射频和脉冲测试——贯穿从建模到制造的全过程。通过测量可以分析栅介质可靠性、高频电容、铜通孔可靠性以及射频性能。测试方法正在发生变化的常用测试包括I-V特征分析、射频C-V测试、s参数测试、NBTI、TDDB、HCI、SILC和电荷泵（CP）测试。

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