中微惠创

中微半导体设备（上海）股份有限公司旗下全资子公司中微惠创科技（上海）有限公司日前与德国DAS环境专家有限公司（DAS Environmental Expert GmbH）正式签订战略合作协议，双方将在半导体行业尾气处理设备领域展开紧密的合作，共同推动环保科技行业的发展。