GT66A

Gigaphoton开始批量生产出厂支持微细化最前线的ArFi光源GT66A
Gigaphoton股份有限公司（总部: 栃木县小山市、董事长兼总经理: 浦中克己）宣布，已开始批量生产出厂采用新技术的最新半导体制造光刻光源ArF浸没式激光器“GT66A”。