Cavity-SOI

晶园公司推出量“小压”，建“大功”的 Cavity-SOI压力传感器
晶园公司推出两款性能优异的MEMS压阻式绝压压力传感器——150kPa和700kPa，这两款产品具有高精度、高可靠、低功耗、稳定性强、抗干扰能力强、工作温度范围广泛、芯片尺寸微型化等突出特点；