蚀刻

精确跟踪芯片蚀刻过程，用高分辨率光谱仪监测等离子体
在半导体行业，晶圆是用光刻技术制造和操作的。蚀刻是这一过程的主要部分，在这一过程中，材料可以被分层到一个非常具体的厚度。