分子激光器

半导体光刻用光源制造商Gigaphoton Inc.（总部：枥木县小山市；总裁兼首席执行官：Tatsuo Enami）宣布，“G300K”微孔加工光源已交付给日本一家专门从事后端设备制造的设备制造商，该集成系统已成功安装在美国一家公司的工厂内。