英特尔加速制程工艺和封装技术创新,Intel 4将完全采用 EUV 光刻技术
2021 年 7 月 27日–今天,英特尔公司今天公布了公司有史以来最详细的制程工艺和封装技术路线图,展示了一系列底层技术创新,这些创新技术将不断驱动从现在到2025年乃至更远未来的新产品开发。除了公布其近十多年来首个全新晶体管架构 RibbonFET 和业界首个全新的背面电能传输网络PowerVia之外,英特尔还重点介绍了迅速采用下一代极紫外光刻(EUV)技术的计划,即高数值孔径(High-NA)EUV。英特尔有望率先获得业界第一台High-NA EUV光刻机。
英特尔公司CEO帕特·基辛格在以“英特尔加速创新”为主题的全球线上发布会中表示:“基于英特尔在先进封装领域毋庸置疑的领先性,我们正在加快制程工艺创新的路线图,以确保到 2025 年制程性能再度领先业界。英特尔正利用我们无可比拟的持续创新的动力,实现从晶体管到系统层面的全面技术进步。