【原创】Soitec:做好SOI晶圆保障,迎接FD-SOI工艺爆发!

winniewei 提交于 周三, 10/10/2018
【原创】Soitec:做好SOI晶圆保障,迎接FD-SOI工艺爆发!

作者: 张国斌

随着FD-SOI和RF-SOI应用走热,SOI晶圆主要供应商Soitec半导体日益受到产业瞩目,一旦FD-SOI工艺爆发,SOI晶圆能否足量供应?Soitec半导体如何和本土伙伴构建强大的产业链? 在2018年第六届FD-SOI 论坛上,笔者专访了Soitec公司市场和业务拓展部高级副总裁Thomas Piliszczuk, Soitec公司数字电子商务部高级副总裁Christophe Maleville以及Soitec 通信和功率电子业务部执行副总裁Bernard Aspar等,与他们交流了SOI产业发展近况。

Thomas表示Soitec公司产品范围包括数字应用产品如FD-SOI、光电-SOI和Imager-SOI、通信和功率应用产品如RF-SOI和功率-SOI。Soitec是全球300mm SOI晶圆第一供应商,作为全球SOI晶圆主要供应商, Soitec公司授权其他晶圆厂可以采用其自主研发的Smart Cut™晶圆键合和剥离技术来生产规格参数符合高量产需求的FD-SOI基板。

据介绍,Smart Cut™这种革命性的晶圆键合和剥离技术,用来将晶体材料中的超薄单晶硅层从供体衬底转移到其他衬底上,打破了原有的限制并改变了整个衬底行业的面貌。当今大部分用于生产芯片的行业领先SOI晶圆,都是由采用了Smart Cut™技术。

据他介绍,目前Soitec的300mm SOI产能可以达到每年165万片,Soitec的200mm晶圆产能超过90万片,合作伙伴上海新傲科技产能可以超过 100万片。“我们会增加新加坡厂的设备以提升产能应对未来产能需求。”他补充道。“未来SOI晶圆会向高可靠性高性能发展,我们会不断研发新的技术,并会把这些技术授权给其他晶圆厂,推动SOI产业健康成长。”

01 FD-SOI爆发在即,晶圆供应充足

Thomas表示从这两年FD-SOI论坛情况来看,一个有趣的探讨是前年大家探讨FD-SOI的可行性,去年讨论FD-SOI可以做什么,今年因为有一堆实际工艺应用案例了大家讨论的是FD-SOI什么时候爆发了。

“正如我们的CEO Paul Boudre在圆桌论坛预测那样,后年1Q左右就可以迎来FD-SOI工艺大爆发,因为IOT、5G、自动驾驶等都需要FD-SOI工艺,三星还用FD-SOI开发了5G RF收发器,这些都是很积极的信号,而且格罗方德和三星都是我们的客户,而且三星的SOI晶圆需求呈现上升趋势。”Bernard Aspar表示。

Thomas表示GF已经在FD-SOI上挣了20亿美元,并和Soitec签订了70万晶圆的供货合同,对于三星,它比GF更激进,SOI晶圆需求更大,因此Soitec对FD-SOI未来充满信心。“总的来说,36个月之内FD-SOI会迎来大爆发,但我们有充足的产能应对FD-SOI大爆发。”他表示。

02 SOI晶圆成本真的高吗?FD-SOI带来独特价值

有产业人士认为SOI晶圆价格要高于FinFET晶圆,由此认为SOI缺乏竞争性,对此,Thomas表示从ISB CEO Handel Jones公布的数据看。从成本看,22nm FD-SOI的成本将和28nm HKMG成本相近,而工艺如果继续演进,例如到12nm节点,FD-SOI的成本将显著低于FinFET,12nm FD-SOI的成本比16nm FinFET低22.4%,比10nm FinFET低23.4%,比7nm FinFET低27%!这是因为12nm FD-SOI的掩膜数量要少一些,抵消了其衬底成本高过FinFET的部分。“而且FD-SOI有集成RF的优势,更客户更多价值,所以不能单从晶圆成本来衡量工艺价值的。”他强调。

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Thomas还表示从目前看,FD-SOI平台可以针对5G需要的优化称帝提供无与伦比的集成度,还可以给窄带物联网带来优越的低功耗性能,这都是FinFET工艺无法比拟的优势。

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03 加强本地合作,惠及更多本土企业

据介绍,Soitec很早就开始支持中国当地SOI生态系统的建设。早在2007年,Soitec就与中国代工厂和研发中心开展产业合作。2014年,Soitec和中国领先的硅基材料半导体公司——上海新傲科技股份有限公司(Simgui)达成了有关射频和功率半导体市场200mm SOI晶圆的战略伙伴关系并签署了许可和技术转移协议。该协议有助于建立基于Soitec自主研发的Smart Cut晶圆键合和剥离技术在中国打造本地化的SOI生态系统。Soitec与上海新傲科技股份有限公司一直保持着紧密的合作关系,“我们和新傲一直合作的很好,随着更多中国企业采用SOI工艺,未来我们和新傲还会有更多合作。”Thomas表示。“Soitec愿携手中国业界建立强大的本土芯片生态系统,推动中国成为全球半导体行业的领袖。Soitec有能力不断提升其产能,以满足中国市场的需求。若采用FD-SOI作为主流技术,中国将坐拥独一无二的机遇来深入而全面地重塑全球半导体产业格局。”

对于未来FD-SOI产业发展,他认为跨生态系统的协作才是关键,因此,Soitec和领先的企业、研究院、设计服务公司建立的广泛的合作。

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